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工厂地址:
广东省东莞市樟木头镇樟洋社区富竹二街8号

办公室地址:

广东省东莞市樟木头镇柏地东城路2号汇达孵化园3楼

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0510-85223986(无锡)

 

 销售一部:

售前售后咨询:罗先生

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座机:0769-87195860

ass03@cnqtkj.com

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售后服务:黄女士 
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  • 产品名称: 80L等离子刻蚀机
  • 产品编号: a001
  • 上架时间: 2016-11-22

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在真空状态下, 利用射频辐射视得氢气, 氧气, 氮气,等气体生成具有高反应活性的等离子于气体反应形成挥发性化合物, 然后由真空系统将这些物质清除出去 等离子体刻蚀机,应用刻蚀硅片边缘的硅鳞层,扩散过程中, 不但硅片的表面扩散上了鳞,硅片边缘也扩散上了鳞,这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路,所以必须将硅片边缘这层被扩散的 硅鳞去掉,大概去掉1到3个微米, 硅片在刻蚀机内水平选装, 通入的反应气体为四氟化碳,氧气和氮气,其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳, 氧气, 和硅片边缘的规划和物发生反应, 生成硅, 反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走